施耐德電氣Modicon M340 PLC在硅片研磨機(jī)上的應(yīng)用
一、硅片研磨機(jī)用途和特點(diǎn)
研磨機(jī)主要用于硅片陶瓷片石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨，
也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨。
電氣比例減壓閥電控調(diào)節(jié)正壓 (輸出壓力因輸入電壓的變化而平滑地
改變)，選用荷重傳感器時(shí)時(shí)檢測(cè)工件受力，并將信號(hào)反饋給控制單
元構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制，壓力控制精確。
該機(jī)可由用戶設(shè)定存貯十套不同的工藝參數(shù) (壓力、時(shí)間、速度、速
比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等)。
二、設(shè)備結(jié)構(gòu)概述
2.1 研磨機(jī)的上研磨盤、下研磨盤、內(nèi)齒圈三個(gè)轉(zhuǎn)速的固定搭配，太陽(yáng)輪單獨(dú)驅(qū)動(dòng)，游星輪的
公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)可以在一定范圍內(nèi)任意調(diào)節(jié)適配，有利于工件研磨精度和研磨效率的提高。
2.2 采用施耐德電氣高性能ATV71變頻器調(diào)速拖動(dòng)普通三相異步電機(jī)，采用CANOPEN總線驅(qū)
動(dòng)實(shí)現(xiàn)了起動(dòng)、停車的平穩(wěn)過(guò)渡，滿足了研磨的工藝要求。
2.3 本機(jī)采用施耐德電氣M340 PLC控制，M340集成CANOPEN總線，利用通訊方式直接驅(qū)動(dòng)
ATV71變頻器，高精度16位模擬輸出精確驅(qū)動(dòng)比例閥。
觸摸屏XBTGT顯示并設(shè)定各項(xiàng)工作參數(shù)及工作狀態(tài)，工件的研磨量可由計(jì)數(shù)(時(shí)間Sec或Min)
或測(cè)頻(本機(jī)留有測(cè)頻接口)來(lái)控制。
三、電氣控制框圖
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